В России начали разработку литографических сканеров. Их производство могут начать уже в 2025–2026 годах. Подробности сейчас расскажем.

В конце 2021 года Минпромторг выделил 5,7 млрд рублей на разработку отечественных литографических сканеров. Как стало известно, Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) приступил к проектным работам по этому заказу.

Центр заключил с Минпромторгом два контракта: один на разработку сканеров с уровнем топологии до 350 нм, второй — до 130 нм. В итоге, как планируется, полностью отечественные фотолитографы придут на замену импортным, которые используются сейчас на зеленоградских фабриках.

Освоение серийного производства фотолитографов на 350 нм ожидается в 2025 году. Проект сканера и его опытный образец должны быть готовы к концу 2024 года, включая всю документацию для запуска серийного производства установки.

Разработка 130-нм сканера завершится примерно на год позже. Для этого сканера будет с нуля создаваться отечественный 193-нм лазер, чтобы уйти от импортных комплектующих, в частности от лазеров американской компании Cyber.

В серийное производство проект 130-нм сканера с возможностью обработку до сотни 200-мм пластин в час передадут в конце 2026 года. В дальнейшем установка будет модернизирована для выпуска чипов с меньшими технологическими нормами вплоть до 65 нм.

Если наш читатель считает, что 350 нм или 130 нм — устаревшие технологии, то напрасно. Львиная доля гражданской электроники производится именно на подобных техпроцессах. К тому же стран, которые могут не только производить микропроцессоры и микрояипы, да ещё и выпускать оборудование для их производства, не так много. Для России в важно уйти от возможных санкций на поставки промышленного полупроводникового оборудования. Собственное производство сканеров может обезопасить электронную промышленность страны.

Серийный производитель сканеров ещё не выбран. Для примера, в СССР литографические сканеры выпускал минский завод «Планар». Эта практика может распространиться на выпуск сканеров нового поколения. Но от себя добавим, что хотелось бы столь значимые производства размещать на своей территории, а дублирующие и дополнительные мощности — у наших соседей.

По материалам 3dnews.ru